Chemische Gasphasenabscheidung
CVD
Was bedeutet CVD?
Vapor Deposition ist der englische Begriff für die Oberflächenbehandlung durch Dampf. Dieser Dampf kann durch chemische Reaktionen (CVD) oder physikalische Reaktionen (PVD) erzeugt werden. Chemische Reaktionen finden bei hohen Temperaturen (ab 800 °C) statt.
Anwendungsgebiete
Die einzigartige Eigenschaft des CVD-Verfahrens ist eine sehr hohe Penetrationsrate, die dafür sorgt, dass überall auf einer vorgesehenen Oberfläche eine Schicht entsteht (sogar in den Haarrissen), auch auf Hinterschneidungen und sogar auf komplexeren geometrischen Formen wie metallischen Schäumen und dergleichen. Das CVD-Verfahren wird im Allgemeinen eingesetzt, um einem Bauteil eine verbesserte Verschleißfestigkeit, Korrosionsbeständigkeit oder erhöhte Reibungseigenschaften zu verleihen. CVD-Beschichtungen können auch für die Anwendung bei hohen Temperaturen oder für antiadhäsive Eigenschaften verwendet werden. Es können alle Materialien behandelt werden, die der angewandten Prozesstemperatur standhalten, z.B. an verschiedene Stahlsorten, Glas und Grafit.
Verfahrensstandorte
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